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| 測定範囲: | 100um （400umまで） | 平均耐用年数: | 1000hours （100W） 500hours （150W） |
|---|---|---|---|
| 解決: | 0.1Nm | 力: | AC 100-240V 50/60Hz |
| スキャンスピード: | 最も速い12um/s | ブランド名: | Rational |
| ハイライト: | optical interferometry,optical surface profiler |
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AE-100Mの白色光の干渉計および光学表面の型彫機
製品企画書:
、400umの垂直走査の高さの3D測定を用いる白色光の干渉計は顕微鏡および干渉計によって結合されて、さまざまな材料およびマイクロ部品の輪郭およびプロフィールの測定のために適しています。この器械は複雑なライトによって改まるプログラムを必要としません。それはコーティングのフィルムのガラス レンズ、表面、ウエファー、ディスク、MEMS （マイクロ電子機械システム）、平らなLCD、高密度、物質的な分析包む、PCB、ICマイクロ表面の研究、等で広く利用されています。
特徴:
1. nanoscaleの目的のための3D測定。
2.高速および無接触。
3.表面、プロフィールおよび荒さの分析。
4.利用できる透明なか非透過材料。
5.非電子ビームおよび非レーザー保証測定。
6.低価格の維持。
ソフトウェア（ポストTopo）を処理し、分析する専門3Dグラフィック:
1.ユーザー フレンドリー人間コンピュータ インターフェイス。
2.高度の標準フィルムのための自己口径測定。
3.深さおよび高さを分析するとき線形分析利用できます。
4.線形分析はISOによって定義される荒さかうねりで利用できます。
5.利用できる17の測定の指定および4付加的な測定データ。
6.地域分析は統計量の分析で利用できます。
7.特徴を処理する第2高速フーリエ変換(FFT)は滑らかになり、削り、そしてデジタルろ過波を好みます。
8.分析の結果はソフトウェアを分析する干渉計によってBMPのような多数のグラフィック・ファイル、またはExcelのフォーマットにImgScan出力しました。
高速および高精度の干渉の分析ソフトウェア（ImgScan）:
1. システム・ハードウェアはImgScanの前処理ソフトウェアと自動的に白ライト フリンジを分析するために形成されます。
2.垂直高さは0.1nmまであります。
3.高速計算し、分析ソフトウェア。
4。垂直走査の範囲の組み立ては容易、簡単です。
5.レンズは10X、20Xまたは50Xで利用できます。
6.測定された目的をより速くおよび検出すること便利させるX、YおよびZ軸の数表示。
7.手動自動明るさは白ライト フリンジの最もよい比較を得て利用できます。
8.高精度PVSIのスキャンの測定モードか高速VSIのスキャンの測定モードで利用できる。
9.ソフトウェアを分析するPatented半透明な目的の3Dプロフィールを測定するために適しています。
10.自動修理ポイント。
11.走査方向はユーザーによって置くことができます。
指定:
| モデル | AE-100M | ||
| 移動テーブル（mm） | サイズ:100*100の旅行:13*13 | ||
| レンズの拡大 | 10X | 20X | 50X |
| 観察します/Measuringの範囲（mm）を | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
| 決断（μm） | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
| 程度 | 17 | 23 | 33 |
| 作動距離 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
| センサーの決断 | ピクセル:640*480 | ||
| 重量の負荷（kg） | 20kg/1kgよりより少し | ||
| Z軸旅行 | 45mm （手動で微調整） | ||
| Z軸のデジタル表示装置 | 決断:1μm | ||
| 傾向がある調節のプラットホーム | Biax/マニュアルの調節 | ||
| 高さの測定 | |||
| 測定範囲 | 100 （μm） （400μm。任意構成） | ||
| 決断 | 0.1nm | ||
| 繰り返された正確さ | ≤ 0.1% （測定height>10μm） | ||
| ≤10nm （測定height1μm 10μm） | |||
| ≤ 5nm （測定の高さ <1> | |||
| 測定の制御システム | 自動 | ||
| スキャン ニング スピード（μm/s） | 12 （最も速いの） | ||
| 照明 | |||
| タイプ | ハロゲン ランプ | ||
| 平均寿命 | 1000h 100W 500h （150W） | ||
| 明るさ | 自動的に/手動で調節します | ||
| データ処理およびコンピュータ | |||
| 本部の処理し、計算の表示 | 二重core+のコップ | ||
| ビデオおよびデータ処理表示 | 17" LCDスクリーン | ||
| OS | Windows XP （2） | ||
| 電源および環境要求事項 | AC100--240ボルト50-60Hz | ||
| 環境の振動 | レベルとVVC-C | ||
| ソフトウェアを測定し、分析します | |||
| 測定ソフトウェアImgScan | 測定ソフトウェアImgScan:VSI/PVSI/PSIの測定モードで利用できる（PSIの測定モードはPSIモジュールによって形成されなければなりません） | ||
| ソフトウェアPosTopoの分析 | ISOの荒さ/高さの分析、倍数第2および3D高速フーリエ変換。 輪郭のような観覧グラフを観察して下さい;輪郭、区域および容積の分析;グラフ急上昇;ビデオ ファイルのフォーマットの転換。 出力を報告して下さい;ティーチインの測定をプログラムして下さい。 |
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コンタクトパーソン: Sunny
